Установка для вакуумного напыления УРМ
Доброго дня, уважаемые читатели.
Хотел обратиться к Вам за помощью, касательно установки для вакуумного напыления тонких пленок УРМ3.279.011.
Она была спасена из рук не хороших людей, которые хотели сдать её в лом, но к сожалению не вся.
В наличии остался каркас, вакуумные затворы-клапаны, паромасляный насос (предположительно Н 250/2500), колпак с неполным набором подколпачного устройства, и работающая система гидропривода колпака.
Токовводная часть отсутствует.
Азотная часть отсутствует.
Форвакуумная магистраль и насос отсутствуют.
Блоки оптического контроля и автоматизации отсутствуют.
Электронно-лучевой испаритель отсутствует (насколько я смог понять).
Пользование предполагается в «ручном» режиме, для нанесения тонких пленок магния фтористого.
Дирекция поставила задача «воскресить» этот лом. Вместо родного форвакуумника был выдан АВЗ-20Д 80ых годов
Опыта работы, а тем более сервиса вакустановок нет, по образованию я инженер-химик, по факту присутствовал при обучении и раздаче дипломов, 10 лет после выпуска трудился мало того, что не по специальности, но и услышанные краем уха знания применить было некуда.
Из понимания по теме книга Иванова "Вакуумная техника", прочитанная документация и бесконечные ветки форумов.
Собственно, халявы не ищу, больше ищу специалиста(ов) которые помогут в восстановлении и наведении порядка в этом хозяйстве, либо же, хотя бы в критике имеющихся соображений.
Место трагедии – Ставрополь.
Для связи можно использовать prokir.ocenka@gmail.ru
Так же прикладываю документацию к установке, которую смог нарыть. Хороший человек заморочился, от фотографировал несколько пачек документов и прислал мне, после чего я по возможности точно привел это в божеский вид, чем, собственно, и хочу поделится с общественностью (мало ли, вдруг кому тоже перепадёт такое «счастье», а тут уже документы есть).
Оригинальные фото так же могу выслать, пишите на почту.
Ссылка на документацию: https://disk.yandex.ru/d/_BGUTEKFvxN_wg
Под этой ссылкой можно посмотреть фото того, как она должна выглядеть с хранения
https://www.chipmaker.ru/topic/213296/
(собственно ТС miriam и есть тот хороший человек который поделился документацией)
И не много фотокарточек, для затравки.
Замена "родного" украденного трансформатора с новыми жилами, для питания токовводов резистивных испарителей. Не подключено, управление не настроено.
Паромасляный насос, снаружи и внутри. Работоспособность неизвестна.
(фотографировалось без демонтажа, из под колпака, высоковакуумный затвор-заслонка снят)
Вакуумплотное соединение по мнению людей, которые ковырялись тут до меня, а именно подвод форвакуумной магистрали у установке.
"Под колпаком"
Советы и шутейки приветствуются как и ссылки на хорошую литературу по теме.
Сжечь и забыть не вариант, это моё рабочее место.
