IMEC создала первый квантовый чип на High-NA EUV
Бельгийский исследовательский центр IMEC представил на ITF World 2026 первый квантовый чип, изготовленный с помощью High-NA EUV-литографии. Это важный шаг на пути к массовому производству квантовых процессоров, потому что впервые передовая технология, созданная для выпуска самых современных кремниевых чипов, была применена к устройству с квантовыми точками.
В основе разработки лежат кремниевые спиновые кубиты, где квантовая информация хранится в спине электрона внутри квантовой точки. Главная особенность нового чипа — сверхмалые зазоры между структурами, всего около 6 нанометров. Это позволяет сильнее и точнее связывать соседние кубиты, а значит, создавать более плотные и управляемые массивы для будущих квантовых систем.
До сих пор такие структуры часто делали с помощью электронно-лучевой литографии, которая очень точная, но плохо подходит для массового производства. IMEC делает ставку на то, что High-NA EUV позволит перенести квантовые чипы из лабораторий на реальные полупроводниковые линии и использовать уже готовую экосистему КМОП-производства: литографию, упаковку, 3D-интеграцию и системы контроля процессов.
Но миниатюризация — это только часть задачи. Для настоящих отказоустойчивых квантовых компьютеров понадобятся не сотни, а миллионы физических кубитов, а значит, нужно решать проблемы криогенной электроники, тепла, шума и сложной разводки соединений. Именно поэтому разработка IMEC так важна: она показывает, что классическая полупроводниковая индустрия может стать основой для следующего большого скачка в квантовых вычислениях.