Процесс магнетронного распыления
Процесс получения тонких плёнок методом магнетронного распыления.
Процесс получения тонких плёнок методом магнетронного распыления.
Реактор после серии напылений, уже пора травить.
Сверху кремний для исследования морфологии, снизу стекло для исследования оптических свойств плёнок.