В 2020-м году, компаний SMEE(Shanghai Micro Electronics Equipment ) анонсировала ограниченную серию своих 28Нм степперов. И в июле того же года Foxconn
заключила соглашение о сотрудничестве с новым районом западного
побережья Циндао.
Foxconn потребовалось чуть больше года, чтобы завершить
ряд действий, таких как строительство завода, ввод основного
оборудования и пробная эксплуатация. И только недавно, первая отечественная литографическая машина SMEE28nm,
разработанная и произведенная Shanghai Microelectronics, также успешно
поступила на завод Foxconn в Циндао, благодаря чему, проект по упаковке и тестированию
был официально введен в эксплуатацию.
В настоящее время SMEE имеет 4 серии литографических машин, из которых 600 -я серия этой функциональной технологии уже может производить 90 -нм чипы, которые можно использовать для высокопроизводительного крупномасштабного промышленного производства. И ограниченные партии, это те что идут на техпроцесс до 28Нм.
Это показывает, что SMEE имеет возможность производить литографические машины и имеет долгосрочное техническое накопление.Ему нужно только улучшить исходные продукты, и вскоре может быть разработано новое поколение литографических машин с передовыми процессами.