У нас был свой фотолитограф!
Сегодня поговорим об установке совмещения и экспонирования ЭМ-576. По сути это фотолитограф из прошлого, установка позволяющая прецизионно совместить фотошаблон (стекло с рисунком слоя) и кремниевую пластину с нанесенным на нее фоторезистом. Далее включается УФ лампа на определенное время, после чего пластина загружается в кассету и передается на следующий процесс.💎
ЭМ-576 начал выпускать минский "Планар" с 1977 года.⚙️
Основные фишки данной установки:
- Микроскоп МССФ-3 завода ЛОМО с раздвижными пневмоприводом объективами🔬
- Верхняя часть установки также поднималась одним нажатием кнопки
- Впервые появился механизм загрузки кассет, автоматическая ориентация пластины и калибровка, что позволило ощутимо поднять производительность (160 пластин в час, при t экспонирования = 5 с)🦾
- Блок управления на мс 155 серии.
-Возможно как контактнле экспонирования, так и с зазором.
Сотрудницы участков фотолитографии завода "Светлана" были в восторге от новой модели, поступившей в чистые комнаты.☺️
#музеймикроэлектрон








Лига Радиолюбителей
1.4K постов9.9K подписчиков
Правила сообщества
Соблюдайте правила Пикабу. Посты выкладывать лишь касаемо нашей тематики. Приветствуется грамотное изложение. Старайтесь не использовать мат.
Постарайтесь не быть снобами в отношении новичков. Все мы когда-то ничего не знали и ничего не умели.
За попытку приплести политику или религию - предупреждение. 2 предупреждения - бан.