У нас был свой фотолитограф!⁠⁠

Сегодня поговорим об установке совмещения и экспонирования ЭМ-576. По сути это фотолитограф из прошлого, установка позволяющая прецизионно совместить фотошаблон (стекло с рисунком слоя) и кремниевую пластину с нанесенным на нее фоторезистом. Далее включается УФ лампа на определенное время, после чего пластина загружается в кассету и передается на следующий процесс.💎

ЭМ-576 начал выпускать минский "Планар" с 1977 года.⚙️
Основные фишки данной установки:
- Микроскоп МССФ-3 завода ЛОМО с раздвижными пневмоприводом объективами🔬
- Верхняя часть установки также поднималась одним нажатием кнопки
- Впервые появился механизм загрузки кассет, автоматическая ориентация пластины и калибровка, что позволило ощутимо поднять производительность (160 пластин в час, при t экспонирования = 5 с)🦾
- Блок управления на мс 155 серии.
-Возможно как контактнле экспонирования, так и с зазором.

Сотрудницы участков фотолитографии завода "Светлана" были в восторге от новой модели, поступившей в чистые комнаты.☺️

#музеймикроэлектрон